[導讀:]黄色视频免费软件片腐蝕性能的檢測分析 磨光片腐蝕A/B:經切片及研磨等機械加工後,晶片表麵受加工應力而形成的損傷層,通常采用化學腐蝕去除。腐蝕A是酸性腐蝕,用混酸溶液去除損傷層,產生氟化氫、NOX和廢混酸;腐蝕B是堿性腐蝕,用氫氧化鈉溶液去除損傷層,產生廢堿液。本項目..
黄色视频免费软件片腐蝕性能的檢測分析
磨光片腐蝕A/B:經切片及研磨等機械加工後,晶片表麵受加工應力而形成的損傷層,通常采用化學腐蝕去除。腐蝕A是酸性腐蝕,用混酸溶液去除損傷層,產生氟化氫、NOX和廢混酸;腐蝕B是堿性腐蝕,用氫氧化鈉溶液去除損傷層,產生廢堿液。本項目一部分矽片采用腐蝕A,一部分采用腐蝕B。
磨光片分檔監測:對矽片進行損傷檢測,存在損傷的矽片重新進行腐蝕。
粗磨光片:使用一次研磨劑去除損傷層,一般去除量在10~20um。此處產生粗拋廢液。
精磨光片:使用精磨劑改善矽片表麵的微粗糙程度,一般去除量1 um以下,從而的到高平坦度矽片。產生精拋廢液。
檢測:檢查矽片是否符合要求,如不符合則從新進行拋光或RCA清洗。
檢測:查看矽片表麵是否清潔,表麵如不清潔則從新刷洗,直至清潔.碳鋼法蘭。
包裝:將單晶矽磨光片進行包裝。
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